高纯气体管道设计要点主要包括七个方面

信息来源：www.hbzyqt.com | 发布时间：2020年05月30日

高纯气体管道设计要点主要包括七个方面：湖北高纯气体厂家中原海常年从事高纯气体批发，对此深有心得。

（1）对不同性质的天然气，要规划一个独立的供气区，一般分为三个区：腐蚀性/有毒性气体、可燃性气体、惰性气体区域，将同一天然气浓度加强管理和可燃气体区，以专门规划爆破墙和渗漏，如果空间不足，可以考虑。放置惰性气体和有毒腐蚀性气体区域。

（2）管道设计需要考虑运输距离，距离越长，成本越高，风险越大，通常设计流量越合理，20 mL/s，可燃气体小于10 mL/s，有毒/腐蚀性气体小于8 mL/s，在使用中设计该方面，需要考虑使用对等压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者管径通常指向使用的1/4“~3/8”。

（3） 根据燃气设备的分布情况，高纯燃气管网不宜过大或过长，宜采用不封闭的环状管道，在系统末端连续排放少量燃气，使管网中始终有高纯度气体循环，不会因“死区”而造成高纯度气体污染。

（4） 应减少不流动气体在管道中的“死区”，且不应是盲管，在专用储气罐和气体设备之间应设置吹扫阀控制装置和控制装置，用于控制吹扫阀的开关顺序和系统，以保证供气系统的安全，可靠运行，防止“死区”滞留污染物形成，降低气体纯度。

（5） 对于高纯气体纯度要求不同的气体设备，宜采用分级高纯气体输送系统，也可采用同一级输送系统，但在高纯气体设备附近设置终端气体净化装置。

（6） 为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除应配备必要的连续检测仪器外，如水或氧杂质含量测定仪等，还应设置定期采样的检测取样口，以便在规定的时间取样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

（7） 在亚微米级集成电路生产中，要求提供10-9级高纯气体。为了保证末端气体处理设备的气体纯度，应提高气体中的杂质含量

（包括尘粒）控制在规定值内，通常在装置前设置终端净化装置或终端高精度气体过滤器

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